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CL系列程控高低温扩散炉，卧式扩散炉--晨立0525

发布企业：	青岛晨立电子有限公司
经营模式：	生产加工
价格：	面议
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商品信息

商品详情

外型形式：卧式1—4管结构程控高低温扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。技术指标：可处理硅片尺寸：2—8英寸工作温度：200℃—1300℃ 恒温区长度及精度：200mm—100mm≤±0.5℃ 单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃／24h 温度斜变：可控升温速率20℃／min，可控降温速率：5℃／min 送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉气路系统：1—5路工艺气体／管气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计控制方式：工控机、触摸屏

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